二手 AMAT / APPLIED MATERIALS AME 8330 #9226105 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS AME 8330是一種先進型號的亞網蝕刻設備，用於蝕刻材料薄膜。它能夠對各種材料進行高性能、大面積的蝕刻，如多晶矽、非晶矽、矽/的。AMAT AME 8330 蝕刻器/asher允許生產各種電子設備級結構。APPLICED MATERIALS AME 8330是等離子體增強型幹蝕刻器，在工藝室內壓力在0.01毫巴至1.6毫巴之間。晶圓尺寸可在300毫米至450mm之間。該腔室裝有7組工藝氣體歧管，可用於幹或濕蝕刻、沈積和灰化等各種蝕刻工藝。7種氣體設置支持氧氣、氮氣、氙氣、氯氣、四氟化矽（SiF4）等氣體。這允許用戶執行涉及蝕刻和沈積過程的多步驟過程。該系統具有大功率磁控管電源，可節流功率設置範圍從50W到400W，允許對基板的功率進行精確控制。它還具有高扭矩級驅動器，允許快速晶圓運動。加工室中的溫度可以根據需要進行調整，範圍從室溫到300 °C。AME 8330配備了幾種診斷工具，便於進行過程分析。其中包括具有高精度壓力控制單元的獨立離子計，以及可用於監測工藝氣體和其他材料特性的發射光譜儀。此外,它還具有一臺視頻晶圓監視機,可用於跟蹤過程中的樣本情況。此蝕刻器/asher具有高度自動化和用戶友好的特點,適合廣泛的研究和應用。軟件控制工具允許用戶對復雜序列進行編程，集成軟件提供了保存自定義蝕刻配方和序列的靈活性。該資產還包含配方管理軟件以存儲存儲的配方和蝕刻條件。此外,用戶可以將數據下載到本地驅動器以進行進一步分析。最後,AMAT/APPLICED MATERIALS AME 8330是一種先進型號的蝕刻器/灰化器,旨在生產各種先進的電子設備和樣品結構。它設計用於高效、均勻的蝕刻,具有高精度、控制和吞吐量。AMAT AME 8330具有用戶友好的界面、強大的軟件和集成的工具,是各種材料蝕刻工藝的理想型號。