二手 AMAT / APPLIED MATERIALS AME8111 #9148207 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS AME8111是一種用於半導體制造和研究過程的精密蝕刻器/asher。它是同類產品中最先進的蝕刻器/蝕刻器,提供精確、可重復的蝕刻工藝,具有卓越的均勻性。蝕刻室配置單一垂直壁掛式設計，提供最大蝕刻吞吐量和基板尺寸8 「x 8」。利用集成的高密度等離子體發生器增強蝕刻過程的均勻性，該發生器能夠產生最小1.5 torr等離子體壓力的高密度等離子體條件。AMAT AME 8111先進的化學輸送系統能夠利用一到四種氣體蝕刻各種材料。這使得它成為一個高度靈活的工具，用於不同的蝕刻應用，如淺溝槽隔離、接觸削減或接觸蝕刻在MOSFET或超淺結點設備。它還包括增強的偏置蝕刻能力和橫向偏置功率補償，以幫助關鍵蝕刻深度控制。APPLICED MATERIALS AME8111配備了AMAT專利的Power Monitor電路,可確保對工藝參數的精確控制。它還能夠存儲多達50種工藝配方，使操作員能夠靈活快速準確地在工藝配方之間切換。使用直觀的圖形用戶界面,操作員界面易於導航。AME8111是蝕刻各種基材的理想工具，包括金屬和矽膠，如石英基材。塗有惰性耐蝕刻的含氟聚合物，使其對腐蝕性蝕刻化學品具有很高的抵抗力。其創新的徑向離子註入幾何形狀降低了表面充電對樣品的負面影響，導致蝕刻更加均勻。此外，它的高通量和精確的結果使得AMAT/應用材料AME8111一個極好的選擇的研究應用。AMAT AME8111還有一個可選的清潔站,用於在蝕刻前清洗基板。總體而言，APPLICED MATERIALS AME8111 蝕刻/asher是一種可靠且用途廣泛的半導體工藝工具。其精確、可重復的蝕刻工藝，靈活的化學輸送系統，直觀的用戶界面，使其成為一個高效可靠的單元。高蝕刻速率、均勻性和特殊特性使其成為蝕刻敏感結構（如超淺結合）且損壞最小的理想工具。