二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centris AdvantEdge G5 Mesa T2 Poly #293638906 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centris AdvantEdge G5 Mesa T2 Poly是一款行業領先的蝕刻器/asher，用於半導體制造工藝。Mesa T2 Poly是一款提供世界級蝕刻精度、均勻性和可控性以及無與倫比的蝕刻速度和響應能力的設備。Mesa T2 Poly專為廣泛的應用而設計，從單級介電蝕刻到復雜的多級介電、多晶矽和金屬蝕刻。該系統還具有大面積容量的大處理窗口，實現了高吞吐量和生產率。Mesa T2 Poly擁有集成的等離子體源和高性能蝕刻配方，可以同時使用反應性氣體和電離氣體等離子體進行蝕刻。該裝置內置的過程控制功能確保了高長寬比特性的精確過程控制和平滑蝕刻。該機器對蝕刻速率和邊緣輪廓采用精確控制，從而實現精確的輪廓和具有高蝕刻均勻性的層。Mesa T2 Poly設計在靈活平臺上，可配備N2、NF3、O2、Ar、SF6、CF4等多種蝕刻氣源，確保了對多種金屬和電介質蝕刻的精確控制和靈活性。該工具采用了最新的等離子體源和基體定位技術，在細線蝕刻、高縱橫比特征和復雜的三維幾何形狀方面實現了無與倫比的控制和精度。資產還有一個自動化的材料交付模式，以便快速可靠地向設備交付材料。Mesa T2 Poly配備了先進的安全系統和安全功能，包括緊急關閉開關和安全殼屏障，以保護人員免受蝕刻過程中產生的有害物質或顆粒的傷害。該系統還具有用戶友好的操作員界面和診斷軟件，以提供無可挑剔的過程結果和可靠性。綜上所述,AMAT Centris AdvantEdge G5 Mesa T2 Poly是一款最先進的蝕刻器/asher,旨在提供精確的控制、高吞吐量以及無與倫比的蝕刻速度和響應能力。對於要求精確蝕刻細線、高縱橫比特征和復雜的三維幾何形狀且精度極高的應用,該單元是一個極好的選擇。