二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centris AP AdvantEdge GT #293637109 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centris AP AdvantEdge GT是一款用於半導體、MEMS和微加工行業的高性能蝕刻器/asher設備。它被設計為能夠對各種材料進行精確蝕刻,包括矽、鋼和鋁。該系統配備了優化的氣體單元,能夠增強過程控制和靈活性。AMAT Centris AP AdvantEdge GT利用多階段蝕刻工藝來確保精確的結果。它從預處理步驟開始,在該步驟中為蝕刻過程準備要蝕刻的材料。接下來是主要蝕刻步驟,其中涉及將氣體引入工藝室,並從外部安裝的離子源應用高功率等離子體。這種等離子體用來蝕刻基材上的材料.APPLICED MATERIALS Centris AP AdvantEdge GT可以處理平面和非平面表面,用於高長寬比蝕刻應用。該機設計可實現高達20:1的超高長寬比蝕刻結果。也可用於先進的深溝應用。該工具高度自動化,提供多種過程監控模式,包括負載鎖定和質量流。這樣可以確保蝕刻過程得到準確的控制和監控。Centris AP AdvantEdge GT還可以使用深度傳感器技術測量蝕刻深度,確保達到所需的蝕刻深度。AMAT/APPLIED MATERIALS Centris AP AdvantEdge GT資產經過優化,可實現最佳的過程可靠性和可重復性。它堅固的材料兼容性使用戶能夠以更高的精度蝕刻各種材料。此外,它還具有原位清潔功能,允許用戶在模型運行時對其進行清潔。最後,AMAT Centris AP AdvantEdge GT是一種高性能的蝕刻器/asher設備,專為各種材料的精密蝕刻而設計。該系統采用多級蝕刻工藝進行超高縱橫比蝕刻和深溝處理。它提供自動化的過程控制,以提高準確性、過程可靠性和可重復性。憑借強大的材料兼容性,APPLIED MATERIALS Centris AP AdvantEdge GT是半導體和MEMS行業的理想蝕刻解決方案。
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