二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centris DPS MESA #9204005 待售
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ID: 9204005
Etcher
Unit-EFEM:
Qty / Maker / Model / Ass'y / P/N
(1) / CYMECHS / Duraport / LPM / 104851
(1) / KAWASAKI / 3TT22013-A002 / Robot / -
(1) / KAWASAKI / 30D60E-A217 / Robot controller / -
Unit-Main power:
Qty / Maker / Model / Ass'y / P/N
(1) / - / Condor UVR AC Rack / AC Rack / 0195-06523
(1) / - / Remote AC Rack / AC Rack / 0180-04470
Unit-TM:
Qty / Maker / Model / Ass'y / P/N
(1) / BROOKS / ICP8 / Robot / 0031-00334
Unit-PM:
Qty / Maker / Model / Ass'y / P/N
(6) / AM AT / Mesa / ETCH CH / -
(6) / EDWARDS / STP-XA3203CV / TMP / -
(6) / EDWARDS / SCU-1500 / TMP Controller / -
(6) / VAT / Series651 / TGV / -
(6) / AE / Paramount3013 / Generator / -
(6) / - / Paramount1513 / - / -
(6) / AE / Navigator / Match / -
(6) / - / Navio / - / -
(84) / BROOKS / GF125CXXC / MFC / GF125C
AXIOM(ASP):
Qty / Maker / Model / Ass'y / P/N
(2) / AE / 3151802-003 / Power supply / 0920-00130
(2) / MKS / VODMC33CRIBE / Vapor on demand module / -
ICP Source:
HW Component / G5 / G5 Minos / G5 Mesa
Lid heater / C-Shaped / O-Shaped / O-Shaped
RF Feed / Standard / Standard / Concentric
FE-ICP Field enhanced ICP / N.A. / Add on / Built-in integrated part of the design
Inner / Outer coils current phase / Single-mode in / Single-mode in / Dual-mode in-phase / Out-of-phase
Grounding plate / Standard / Standard / Symmetrical
RAD Radial assembly dial / Optional / Optional / Motorized - MRAD integrated part of the design
Cathode:
ESC / G3 / G3.9 / G3.9
RF Feed / Standard / Concentric / Concentric
Plasma screen / Standard / Flow equalizer / Flow equalizer
LPM:
CYMECHS Duraport 104851
EFEM Robot:
KAWASAKI 3TT22013-A002
EFEM Robot controller:
KAWASAKI 30D60E-A217
RF Generator:
ADVANCED ENERGY Paramount3013 0190-33822-001
ADVANCED ENERGY Paramount3013 0190-33823-001
Source match:
ADVANCED ENERGY Navigator 0190-28484-001
ADVANCED ENERGY Navio 0190-28484-001.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centris DPS MESA是一種用於關鍵半導體蝕刻/灰化工藝的蝕刻器/灰化器。它是一種可實現自動化的工具,可滿足對準確性、可重復性和安全性的全球要求,支持多船和多區操作。AMAT Centris DPS MESA利用先進的臭氧輸送設備（ODS）和雙等離子體自對準（DPSA）技術,對半導體晶片上最復雜的特征進行精確蝕刻和灰化。DPS MESA具有先進的溫度控制功能,可在整個過程中獲得最佳的熱特性,其獨特的自動化和可追蹤性選項有助於提高吞吐量和最大限度地提高晶圓廠利用率。該工具的自動化過程控制系統允許對過程進行可靠的監視和控制,從而實現更快的蝕刻速率和更好的過程準確性。一種用於快速切換氣體的先進氣櫃，以及集成的直接驅動液體控制器，提供一致的蝕刻結果和最小化的過程漂移。DPSA功能還允許進行復合蝕刻/灰燼操作,這些操作可以針對客戶應用程序進行精確定制。該單元的高真空能力確保了一個清潔和可重復的過程。集成的高級疏散機清除了蝕刻/灰燼過程中產生的大部分氣體和煙霧，強大的粗加工和擴散泵減少了過程周期時間。該工具旨在集成到群集工具中,允許同時處理多個晶圓,而可選的預映射資產則可實現最佳樣品放置,從而提高吞吐量。該型號的集成發電機允許對設備進行遠程控制，其先進的安全功能在操作過程中保護用戶。總體而言,APPLIED MATERIALS Centris DPS MESA為半導體織物提供了高效、通用的蝕刻和灰化解決方案。其先進的技術、一流的設備安全性和自動化、高生產率在業界是無與倫比的，使其成為任何半導體應用的理想選擇。
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