二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centris G5 Mesa #293627633 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centris G5 Mesa 蝕刻器/asher是一種先進的設備，設計用於蝕刻和粉刷各種材料，包括矽、金屬和聚合物。Centris G5是市場上最先進的蝕刻器/asher系統之一,能夠使用多種材料進行精確的蝕刻、灰化和陣列設計。該系統采用自成一體的多合一平臺，采用自動化模塊化設計，可直接集成組件和儀器，包括Veeco蝕刻室、Varian/RHT真空抽屜和加熱器頭。Centris G5具有多種集成的工藝室,每個室都設計用於處理不同的材料類型並達到特定的工藝要求。聚焦的離子束蝕刻和灰燼能夠產生精確的孔和溝槽，這是由用戶定義的基板定義的。加工材料的範圍從矽、金屬和聚合物到光掩模設計和不合格的圖樣設計。Centris G5還有一個多頻微波發生器，允許高頻蝕刻具有更大的清晰度和更寬的縱橫比範圍。大面積晶圓處理允許更大的體積吞吐量，使得在一個蝕刻循環中最多可以處理四種大小各異的基板。Centris G5單元還配備了提高產量和減少周期時間的功能，包括TruClean自動清潔功能，以確保基板的完整性和清潔度。此外，該機利用具有一致氣流的高均勻性等離子體清洗，以加快蝕刻周期。Centris G5專為高吞吐量而設計,其周期時間比市場平均水平快20-30%。該工具提供高達100瓦的峰值蝕刻功率,實現高精度、大面積的處理,同時保持嚴格的公差和精確的蝕刻位置。利用高級自動化、精確控制和高級資產功能,AMAT Centris G5 Mesa是蝕刻和灰化各種材料的理想工具。自動化的模塊化設計提高了吞吐量,同時提供了以高精度處理各種基板尺寸的靈活性和能力。高度集成的模型還提供了更高的產量、清潔度和循環時間，使其成為任何過程密集型蝕刻器/asher應用的理想工具。