二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centris G5 Mesa #293627635 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centris G5 Mesa是一種Etch/Asher設備，用於半導體器件應用中材料的快速、精確模式轉移。它是一個批處理類型的系統，同時設計了蝕刻和灰處理模塊。該單元以高度可靠、經濟高效的軟件包提供高級、多步驟蝕刻/處理流程。AMAT G5具有雙室技術，在同一臺機器中實現蝕刻和灰燼處理。集成過程電源采用獨特的「高電流高功率」（HCHP）交換機配置,允許它在單個電源中提供最多50A個電源,從而實現高效、可重復的蝕刻和灰燼處理。此外，該工具還帶有一個可選的原位O2預處理模塊，可以添加該模塊以顯著加快工藝設置時間。APPLIED MATERIALS G5憑借其先進的雙線光束掩蔽資產、高分辨率快門控制和主動基板溫度控制，能夠實現極其精確、可重復的蝕刻和灰處理。它具有可靠的溫度管理模型,溫度範圍從-40到200°C,穩定在1⁰C設定點精度。此外，精細的工藝控制，使其能夠激活和停用在亞毫秒水平的氮流成為可能。AMAT/APPLIED MATERIALS G5蝕刻和灰分設備也有很大的加工面積，最大可達500毫米晶圓面積。它可一次支持多達25個晶片,從而提高吞吐量並實現快速、高效的批量處理。此外，該系統具有室內診斷功能，能夠實時監測室內狀況，以發現早期故障和警報。通過各種傳感器確保該裝置的安全。AMAT G5 Mesa是一款專為半導體器件行業而設計的創新蝕刻/灰分機。其可靠的可靠性、生產率、過程控制和安全特性使其成為各種蝕刻和灰燼應用程序的理想選擇。