二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centris SYM3 #293627020 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centris SYM3是一種先進的蝕刻/灰燼設備,旨在在承運人註冊的各種基板上產生優越的結構和圖案。該系統是建立在一個先進的,高能力的架構,利用經濟驅動的靈活性和機電系統的速度。該單元可處理直徑最大為8英寸的基材,並具有超過10種氣體的氣體控制能力,允許進行深度矽蝕刻、高密度等離子體蝕刻、抗蝕劑去除和差分剝離等一系列工藝。機器本質上也很模塊化,允許用戶配置工具以產生復雜的自定義結構和模式。AMAT Centris SYM3具有高分辨率的圖像傳輸機制以及功能強大的自動對焦資產,可實現卓越的流程可重復性和產量。該模型還提供了各種最新的安全協議,以盡量減少因汙染或其他操作問題而導致設備故障的風險。APPLIED MATERIALS Centris SYM3配備了一個閉環過程控制系統,平衡流速和壓力,以最大限度地提高過程性能。此單元使用專有軟件包自動控制和監視配方,並提供蝕刻過程的圖形表示,以幫助操作員了解和優化過程。該技術允許即時執行多個蝕刻/灰分工藝配方,而不會停止當前的工藝和重新加載,從而提高吞吐量和可重復性。Centris SYM3是一款功能強大的蝕刻機,非常適合各種應用。該工具的開放規範提供了高度的靈活性,允許配置資產以最適合操作環境。其高質量的成像和閉環過程控制模型有助於提高產量和可重復性,讓用戶以更少的時間和精力獲得更好的效果。
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