二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centris #9394694 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT Centris是一款蝕刻器和asher，設計用於提供高精度晶圓處理。該蝕刻器能夠清潔和重復處理不同種類的材料，低擁有成本。AKT Centris Etcher利用一系列精密的工藝控制技術和特定於材料的蝕刻輪廓,每次都進行精確的蝕刻。該設備的外形尺寸很小，可以在有限的空間內最大限度地提高利用率，並且可以處理多個不同尺寸的晶片。AMAT Centris具有一個易於操作和監控的集成控制系統。該控制器結合了手動和自動精密腔室定位、集成隔離門鎖、視覺環境監控、集成溫壓控制和實時過程監控以及用於單元狀態監控的圖形。這允許精確的過程和機器控制以及分段的過程腔室和雙熱區腔室來優化處理性能。該工具還配備了Advanced Plasma Tracking（APT），它使用獨特的三軸坐標資產監控蝕刻和灰化過程的確切位置。這樣可以將蝕刻精確定位到基板上,並消除蝕刻過程中目標邊緣輪廓的漂移。該模型還采用了Exactradd,這是一種PC控制的源蝕刻匹配設備,可優化抗蝕層輪廓數據並匹配目標基板蝕刻層。此外,APPLIED MATERIALS Centris蝕刻器增強了目標配置文件的優化功能,使過程模式能夠準確執行。其全封閉式全金屬結構使其具有很高的可靠性和較低的維護性。帶有級聯過濾的雙機箱可實現無汙染、高質量的工藝效果,即使是長期批處理也是如此。該系統為半導體晶圓加工提供了高精度的蝕刻和灰化，具有高質量的可重復性和穩定的處理。