二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centris #9401959 待售
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已售出
ID: 9401959
晶圓大小: 12"
優質的: 2018
SYM3 Etcher, 12"
Controller
(2) External racks
For main AC, system control, power supplies
Front loader non-functional
(6) Chambers:
Chamber A1
Chamber A2
Chamber B1
Chamber B2
Chamber C1
Chamber C2
Power supply
2018 vintage.
AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT Centris是一種用於半導體和MEMS制造加工晶片的蝕刻器和asher設備。該系統為剛性和柔性基板的蝕刻和灰化提供了精確和可重復的結果。它旨在滿足半導體加工業的苛刻要求。該單元由一個低溫蝕刻器、一個低溫灰化器和一個彎曲蝕刻室組成。蝕刻器是一種用於從晶片或基材中去除材料的加工室。該過程基於離子轟擊的原理,基本上涉及利用高能離子蝕刻或濺射掉基質中的物質,留下幹凈、精確的表面。Asher腔室是一種低溫驅動的加工腔室,旨在從晶片或基板表面對特定層或材料進行灰化或去除。蝕刻和灰化的結合為數字電路、模擬設備和MEMS組件的晶片的制造提供了一個通用而精確的過程。彈性蝕刻室用於從聚酰亞胺、聚酯、多氯丁烯等柔性基板表面精確去除薄層蝕刻。其設計目的是在基板中達到最高分辨率,並確保蝕刻過程後設備的清潔度。AKT Centris蝕刻器還具有簡化的蝕刻和灰化界面,並且易於與任何晶圓處理工具集集成。這使用戶能夠快速、輕松地訪問蝕刻和灰化參數、過程控制以及後處理數據。機器還可以與各種工藝控制系統集成,提供滿足特定生產需求所需的靈活性。最後,AMAT Centris蝕刻機是半導體和MEMS制造中加工晶片的可靠且通用的工具。它采用精密蝕刻和灰化技術,為剛性和柔性基板提供一致、可重復的結果。該資產具有豐富的功能、易於使用和快速集成,是半導體制造的理想選擇。
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