二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura ACP DPN Gate stack #9289806 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA ACP DPN Gate堆棧是一種用於處理半導體器件制造中使用的多種基板的蝕刻器/灰化器。該蝕刻器的設計是通過使用氟基和氯基化學的摻雜選擇性等離子體蝕刻提供高度均勻的蝕刻深度和工藝。它能夠對蝕刻工藝提供更好的控制，以及較高的材料去除率。該蝕刻器具有低壓、低能電容耦合等離子體（CCP）蝕刻系統,具有精確的反應物控制功能,可確保對不同材料類型的蝕刻均勻性和選擇性。這種蝕刻器還能夠對諸如壓力、氣體分配和等離子體功率等蝕刻室條件進行出色的控制。該系統采用先進的控制參數，采用深度均勻、側壁平滑的幹凈蝕刻表面，提供一致的蝕刻性能。AMAT Centura ACP DPN Gate堆棧采用專利雙粒子中和器（DPN）技術，在非常高的頻率下提供高偏置電壓，而不會損壞基材。DPN技術還通過消除對傳統灰化工藝的需求，將砷汙染水平降至最低。DPN工藝也適合與一系列的底物一起使用，如多晶矽、鋁、二氧化矽、砷化的。此外，蝕刻器還配備了增強的真空技術，提供清潔蝕刻環境，減少蝕刻後清洗時間，同時保持蝕刻質量。蝕刻器還允許對壓力剖面進行精確控制，以防止對閘門堆棧造成損壞。蝕刻器還提供動態氣體控制和超高速切換時間,從而實現寬廣的處理窗口。此外,即使在難以蝕刻的區域,專用遠程火炬也能提供精確的均勻性控制。最後,APPLIED MATERIALS Centura ACP DPN Gate堆棧還為蝕刻室提供了防反射和光散射防護屏蔽等安全功能。由於其精確的控制參數和先進的安全特性，這種蝕刻器可以提供高精度的蝕刻，同時盡量減少基板損壞的可能性。