二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP AdvantEdge G5 Mesa T2 Poly #293802312 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP AdvantEdge G5 Mesa T2 Poly
ID: 293802312
Polysilicon etchers.
AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP AdvantEdge G5 Mesa T2 Poly是一種蝕刻器和asher,能夠同時執行幹蝕刻和濕蝕刻過程。這款蝕刻器配備了氣動卡帶輸送設備,無需人工幹預即可輸送蝕刻氣體、等離子體、材料、漿料等消耗品。該工藝室是密封的,能夠使用高濃度的反應性氣體,同時盡量減少汙染。該系統采用300 mm的淋浴頭電極,提供均勻的等離子體密度和高柔韌性,達到最佳的蝕刻工藝均勻性。該蝕刻器的設計目的是提供一個清潔的基板表面進一步處理。該裝置為硬化鋼和陶瓷材料、鎢材、金屬和聚合物等先進材料提供了出色的加工能力。其先進的工藝控制機器能夠對工藝時間和壓力等蝕刻參數以及與等離子體化學相關的參數進行精確控制。此高級蝕刻器還具有高溫自動校準工具,使其能夠自動補償材料屬性隨時間的變化。這導致了一個可重復和可靠的過程。此外,APPLIED MATERIALS/AMAT Centura AP AdvantEdge G5 Mesa T2 Poly還提供了IC芯片設計者訪問蝕刻後處理的權限。它配備了自動化的斜邊鈍化資產,其設計目的是在不產生表面粗糙度的情況下產生明確定義的邊珠。該模型還與包括低溫退火和快速熱退火在內的一系列蝕刻後退火工藝兼容。AMAT/APPLIED MATERIALS/APPLIED MATERIALS Centura AP AdvantEdge G5 Mesa T2 Poly的設計滿足了當今要求苛刻的半導體制造工藝的高質量要求。這種經濟的蝕刻器滿足或超過了當今大多數領先的IC芯片設計者和IC制造設施的要求,實現了可重復、可靠的蝕刻和鈍化處理。該設備具有經濟效益,使IC芯片設計者能夠將相同的高質量蝕刻工藝用於各種先進材料和精密的IC芯片設計。
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