二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP AdvantEdge G5 Mesa T2 Poly #9282263 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP AdvantEdge G5 Mesa T2 Poly
ID: 9282263
晶圓大小: 12"
Polysilicon etcher, 12".
AMAT/APPLICED MATERIALS CENTURA AP AdvantEdge G5 Mesa T2 Poly是一款蝕刻器/asher設備,專為矽、砷化的的高性能蝕刻和粉刷(GaAs)等半導體材料而設計。這個最先進的系統配備了先進的工藝技術,具有出色的蝕刻和灰化能力。該單元為半導體材料的蝕刻和灰化提供了無與倫比的精度、準確性和可重復性。該機配備了Mesa自適應模式發生器(APG),這是一種先進的處理技術,用於在半導體基板上精確對齊和成形圖樣結構。Mesa APG還有助於消除外部環境變化的影響,如溫度以及化學濃度和對最終產品的壓力。此工具還具有Poly-Si-C®準直透鏡,可提供高分辨率和高效的蝕刻和灰化功能,同時消除典型蝕刻和灰化過程中可能出現的低溫沈積問題。為了實現可靠、可重復的蝕刻和灰化過程控制,資產還配備了石英放電氧化(QDO)控制器和QDOTM過程監控器。QDO控制器有助於為各種材料和基板的蝕刻和灰化提供穩定的電源,而QDOTM工藝監視器有助於測量關鍵的蝕刻和灰化參數。該模型進一步配備了獲得AMAT專利的MesascanTM技術,它提供了實時處理數據信息的成像能力。此功能允許操作員監視和控制蝕刻和灰化參數,並對進程中可能出現的任何異常保持警惕。最後,設備的軟件配備了一套強大的自動化工具和診斷軟件,便於設置、控制和驗證蝕刻和灰化過程。總體而言,AMAT Centura AP AdvantEdge G5 Mesa T2 Poly是一款先進的蝕刻和灰化系統,配備了一套強大的功能以確保最佳性能。其Mesa APG、Poly-Si-C準直鏡和QDO控制器提供精確、可重復的蝕刻和灰度處理,而其MesascanTM技術則提供實時成像能力,用於檢測過程中的任何異常。最後,它的自動化工具和軟件為設置和控制蝕刻和灰化過程提供了高度的便利。
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