二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP AdvantEdge G5 Metal #293802318 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP AdvantEdge G5 Metal是一種蝕刻系統,旨在制造需要高長寬比蝕刻線寬和高X-Y蝕刻均勻性的設備。該蝕刻器具有機器人化的工作單元,能夠提供精確和可重復的過程控制,這對於高性能的MEMS和半導體設備至關重要。AMAT Centura AP AdvantEdge G5 Metal包括可配置為滿足各種工藝要求的濕蝕刻或幹蝕刻工具。蝕刻工藝采用先進的ECR等離子體源,具有熱晶片處理功能,可實現低擁有成本和高通量的批量生產。此外，ECR等離子體源能夠提供高選擇性和出色的蝕刻質量，同時最大限度地減少汙染。APPLIED MATERIALS CENTURA AP AdvantEdge G5 Metal支持廣泛的材料,如銅、鎢和多晶矽,並允許精確控制蝕刻輪廓和特征尺寸。它具有獲得專利的數字反饋子系統,可準確、可重復地控制壓力、溫度和流量,使其能夠滿足嚴格的公差和均勻性要求。Centura AP AdvantEdge G5 Metal還具有先進的離心機開關和晶圓預對齊器，這是先進微電子器件制造的重要特點。離心機使用戶能夠即時切換蝕刻配方，而無需在處理前重新對齊每個晶片。晶圓預對齊器確保在蝕刻之前進行精確的晶圓定位,並提供從一次運行中精確處理多晶圓配置的靈活性。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP AdvantEdge G5 Metal是一種一站式集成蝕刻系統,具有0.2 mu至5 mu的高長寬比蝕刻功能。它利用陶瓷室架構、先進的金屬種子和修整面膜、陶瓷加熱元件等一流材料，保證了工藝控制的最優、可重復性的最大化、產量的優越。此外,蝕刻器還包括用於數據采集、診斷和過程優化的全面配方和軟件功能。