二手 AMAT/ APPLIED MATERIALS Centura AP DPS AdvantEdge G2 Metal #293822272 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP DPS AdvantEdge G2 Metal是一款高性能、經濟實惠的幹法蝕刻設備，旨在蝕刻機器人和非機械人結構。該系統是需要高吞吐量和高蝕刻選擇性的應用程序的完美解決方案。其設計具有磁控管濺射沈積、均勻氣體分布、均勻蝕刻性能等特點。它能夠蝕刻成多種金屬，對銅、鋁、鎳等金屬的選擇性蝕刻比例超過2：1。該單元包括一個由一個公共底板、一個預處理室、兩個處理室和射頻幹蝕刻室組成的腔室。它利用多室架構，以確保最佳的等離子體質量，內部氣體填充，均勻的射頻偏置和完整的過程控制。這為用戶提供了更高的可重復性和改進的流程質量。它配備了先進的對流加熱技術、集成的負載鎖、自動轉換機。此工具還具有手動清理和晶圓回火的手持工具。AMAT Centura AP DPS AdvantEdge G2 Metal資產在其過程中使用最新的蝕刻速率。可以蝕刻金屬等材料，效果優越。通過其先進的制造工藝，可以在單層和多層結構上提供極高質量的蝕刻效果。它提供全面的板載配方和設置菜單，可以輕松定制蝕刻工藝，以適應應用程序的需要。該模型還允許使用工藝配方對蝕刻過程進行精確控制，並對這些配方進行高效存儲。除了蝕刻和清潔功能外，該設備還具有用於沈積前表面活化的先進等離子體處理功能。這種活化對於薄膜的受控附著力是必不可少的，並用於各種芯片制造應用。它的高級診斷功能使用戶能夠通過蝕刻活動跟蹤工具監控和優化其流程性能。此功能還使用戶能夠有效地查看工藝趨勢並檢測工藝條件的任何變化,從而使他們能夠實時對蝕刻工藝進行必要的調整和更正。總體而言,APPLIED MATERIALS CENTURA AP DPS AdvantEdge G2 Metal是一種用途廣泛且功能強大的蝕刻系統,可滿足任何蝕刻應用程序的需求。憑借其先進的技術、高效的流程和高性能，這一單元是提高流程質量、吞吐量和可重復性的完美解決方案。