二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP DPS AdvantEdge G2 Poly #9252462 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP DPS AdvantEdge G2 Poly是一款設計用於半導體制造工藝的最先進的蝕刻器/asher。該設備配備了聚氧化物等離子體源，允許使用惰性氣體或半反應性氣體進行最佳蝕刻和灰化。灰化是去除汙染物的重要過程，而蝕刻則用於去除不需要的材料或塑造矽或其他半導體材料。AMAT Centura AP DPS AdvantEdge G2 Poly配備了原位Opti-Lab監控系統，提供有關蝕刻和灰化過程的詳細反饋，實現微調和改進過程控制。對源功率、腔室壓力、法拉第屏蔽等參數進行實時測量，可用於優化工藝。APPLIED MATERIALS CENTURA AP DPS AdvantEdge G2 Poly配備了大量的工藝配方和材料兼容性選項,可實現多種材料的高吞吐量。此外，該單元還配備了溫度控制機，可以在蝕刻或灰化過程中精確控制溫度和能量水平。蝕刻器/asher與各種電源兼容,功率級別高達300瓦。該工具能夠提供1%以內的精度，允許對等離子體和其他工藝參數進行精確控制。集成的空氣袖口資產消除了潛在的汙染，並允許精確控制射頻功率和均勻性。該模型還配備了一系列監測工具，如嵌入式視覺設備和粒子（PTM）以及電子能量色散X射線光譜（EDX），對蝕刻和灰化過程提供進一步的控制和反饋。此外,Centura AP DPS AdvantEdge G2 Poly易於使用、無維護且經濟實惠,非常適合生產當今的現代半導體材料。