二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP DPS MINOS #293625373 待售

ID: 293625373
晶圓大小: 12"
優質的: 2011
System, 12" 2011 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA AP DPS MINOS Dry Strip Asher是一種用於基材和薄膜幹蝕刻的設備。這種先進的蝕刻系統提供了當今市場上所有幹式蝕刻裝置的最高統一性。其獨特的設計允許快速高效地蝕刻大表面,具有出色的均勻性和可重復性,為眾多薄膜沈積、蝕刻和鈍化應用提供了經濟高效的解決方案。AMAT Centura AP DPS MINOS利用工業級等離子體源和先進的過程控制技術實現了高度統一和可重復的過程。蝕刻過程由連接到PLC的可編程控制器控制。這樣可以確保工藝參數和定時始終保持一致,從而實現均勻的厚度蝕刻,並且在蝕刻過程中或在蝕刻項目時將其減至最少。先進的晶圓圖樣算法進一步提高了蝕刻的均勻性,該算法集成到機器中,以確保針對被蝕刻基材的類型對蝕刻工藝進行完美的優化。該工具還具有全方位的安全功能。其中包括受保護的電源、磁屏蔽的工藝室以及一系列警報和監視器,以確保該工藝安全運行並符合制造商的準則。APPLICED MATERIALS Centura AP DPS MINOS提供了目前可用的所有幹蝕刻資產中最高的蝕刻均勻性。其先進的過程控制技術,包括串聯過程監控,確保可重復性、可靠性和質量。其復雜的晶圓圖樣算法確保了該過程針對被蝕刻的特定基板進行優化。此外,模型的安全功能可確保進程安全運行。這種先進的蝕刻設備能夠為眾多薄膜沈積、蝕刻和鈍化應用提供經濟高效的解決方案。
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