二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP DPS #9296966 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP DPS是一種全自動蝕刻器/asher設備,旨在以具有競爭力的速度生產超清潔和精確的特性。一個先進的標線系統允許多個蝕刻配方可以輕松編程和執行，而雙工藝室設計則允許在一個蝕刻步驟中進行背對背工藝。利用具有高壓RIE功能的強大等離子體,AMAT Centura AP DPS能夠產生高縱橫比的特性,並具有最小的回充效果和精確的側壁角。此外，這一單元旨在提供靈活的工藝靈活性，並提供各種工藝化學方法，以及工藝監測選項，以確保無缺陷、可重復的性能。APPLIED MATERIALS CENTURA AP DPS提供直觀的軟件和高級N2/O2/SF6控制,使操作員能夠輕松了解蝕刻和切換化學。Centura AP DPS配備了為全球RIE蝕刻設計的真空室，以及用於高級金屬蝕刻的低溫低溫德加特性。它還具有一個內置的狹縫泵能在廣泛的壓力和真空水平，以及一個可更換的腔室易於維護。機器還包括多個用戶，以容納具有不同經驗和流程的團隊成員。AMAT/APPLICED MATERIALS Centura AP DPS與CMOS兼容,可產生0.1至5µm的線寬、高達20：1的線性長寬比以及高達8µm的特征深度控制。由氣體面板、發電機和轉子原位監控器組成的集成控制工具可實現動態過程控制和精確調整。這項資產還配備了自動清洗模型，該模型使用集成化學管理設備進行高效清潔，並配備用於串行運行過程的自動晶圓處理系統。使用AMAT Centura AP DPS,用戶可以在有或沒有支持的情況下獲得超幹凈、精確的功能。這個單元被證明是那些尋找蝕刻/粉碎機進行研發，以及搶手生產要求的人的絕佳選擇。