二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Avatar #9375621 待售
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AMAT/APPLICED MATERIALS Centura Avatar是一種高度先進的蝕刻和asher設備,用於半導體制造。其設計可提供卓越的晶圓均勻性和卓越的蝕刻質量,從而實現卓越的設備性能。該系統采用單室設計,利用集成的等離子體源創建精確的等離子體蝕刻和灰化模式,以提供最佳結果。這個等離子體源產生電離氣體的混合物,然後與底物的表面反應以改變其性質。該組合蝕刻和灰化過程產生非常精細的特征下降到1微米,在整個晶片高均勻性。AMAT Centura Avatar還安裝了一個專有的模式發生器電路,可實現準確的模式註冊。該發生器采用X射線光刻和電子束光刻的組合,以確保特征放置和對準的精度。它還允許高吞吐量與快速蝕刻和灰度速率和陣列精度在廣泛的溫度範圍內。此外,Avatar還有一個集成的PerfectMatch腔室,可以提高蝕刻表面質量,並改進各種半導體器件性能指標。這個腔室有一個傾斜的晶片加載單元,一個旋轉的晶片載體,和一個壓力容器,調整以適應廣泛的晶片大小。最後,阿凡達包括內置的安全功能,如真空/泄漏檢測機和氮氣/氙氣噴射,以保護工人和工具免受等離子體汙染。各種工藝容器提供卓越的真空能力和動力傳遞能力,所有系統都采用自動壓力集輪廓,在蝕刻過程中提供卓越的壓力調節。APPLIED MATERIALS Centura Avatar是一種強大的蝕刻和灰化資產,能夠產生極高精度和均勻性的高質量特征。其先進的模式發生器、集成的PerfectMatch腔室以及精密的安全特性使其成為先進半導體制造的理想選擇。
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