二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II AdvantEdge G5 Mesa #9286855 待售

AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II AdvantEdge G5 Mesa是一種生產級設備，專門從事蝕刻/灰燼工藝。它專為高產量、高性價比的制造，以及深亞微米的幾何形狀而設計。Centura DPS II配備了最先進的並行雙光束光學設備,可實現快速基板加熱以及精確的垂直和水平對準,從而實現精確的蝕刻/灰燼輪廓。其光學系統的最大基板尺寸為6英寸乘6英寸，采用1級激光。該單元利用多個腔室進行蝕刻工藝優化，而其串聯的直接驅動質量流控制器有助於確保精確的工藝控制和最大的可重復性。Centura DPS II由等離子體發電機、射頻電源、離子源電源、負載鎖定和基板傳輸組件組成,可配置為適應大氣、真空或低溫處理。其過程控制模型也可編程，允許等離子體化學和停留時間的實時優化，允許精確和可重復的蝕刻/灰化結果。DPS II由控制軟件ADVANTEdge Control Software提供支持,該軟件可對設備進行完整的實時監控,並能夠自動調整以保持最佳蝕刻性能。它還具有針對蝕刻/灰分優化的預編程配方,允許輕松處理,並具有操作員可以存儲和訪問的流程配方庫。該機器設計為高效、強大且可靠的蝕刻器/asher,提供最高級別的蝕刻均勻性和卓越的工藝可重復性。DPS II可用於原型和生產級別的應用程序,非常適合生產高端IC和RF組件。