二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II AdvantEdge G5 Mesa #9390583 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II AdvantEdge G5 Mesa
ID: 9390583
Poly etcher.
AMAT/APPLICED MATERIALS Centura DPS II AdvantEdge G5 Mesa是一種下一代先進的蝕刻/asher技術,用於不斷收縮的技術和半導體器件。該生產設備集成了先進的高速銑削和蝕刻以及超精確環境中的光刻蝕刻,在亞微米級提供了高精度和可重復性性能。它采用先進的機器人多站架構,采用兩階段操作,結合化學蝕刻工藝去除不需要的材料。該系統采用開放式框架架構構建,只需一個小的外部框架即可安裝多種工藝工具,使其成為當今先進納米技術和半導體研究與生產的理想選擇。此外,一個強大的閉環控制單元(Cloce-Loop Control Unit,CLCS)內置在機器中,允許對生產過程進行完全控制和自動化。這樣可以確保刀具以最佳性能運行並產生一致的產量。AMAT Centura DPS II 蝕刻器/asher提供了廣泛的蝕刻和研磨工藝能力,允許生產最先進和質量最高的產品。它配備了提供高純度氣體兼容性和氣體混合能力的氣體輸送資產。該模型與APPLIED MATERIALS P5000、DPS和E3化學輸送系統完全兼容,能夠接受幾組定制氣流參數。此外,AMAT/APPLICED MATERIALS Centura DPS II 蝕刻器/asher能夠處理每個工藝周期最多200個晶圓的批量大小,使其成為大批量生產環境的理想選擇。它具有先進的DataCube功能,能夠輕松收集和繪制數據,從而輕松解釋和比較過程數據。該設備具有強大的安全系統,可提供遠程報警和自動關閉功能。機器還配備了最新的診斷工具,如Advanced Yield Reports、OCR/Loop Tracking、Vacuum Status、Process Cycle Monitor和Total Event Monitor。還集成了流程模擬套件,以優化流程/工具並促進自適應配方的開發。AMAT Centura DPS II 蝕刻器/asher被設計為用於先進技術半導體工藝的可靠、高性能的蝕刻器/asher。
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