二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II Mesa #293586295 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II Mesa Asher/Etcher是一種高容量蝕刻和灰化設備，設計用於半導體加工中薄膜和超淺結的沈積。該系統使用兩個獨立的、可獨立控制的處理室來啟用具有不同參數的多層蝕刻。DPS II Mesa Asher/Etcher配備了兩個獨立的鋁反應和擴散室，能夠同時蝕刻兩個不同蝕刻參數的獨立層。這些腔室裝有基板，上遊和下遊腔室都用於蝕刻。一個加熱的轉移單元用於在單獨的腔室之間移動晶片。該機專為在先進半導體技術領域的應用而設計，包括形成堆疊多晶SiON和超淺結、後端線（BEOL）介電蝕刻、Cu/lell-K等應用等器件。該工具提供超精確的高速蝕刻高達50毫米晶圓在一個順序運行。它還提供了在多種條件下高達0.2% ±的最佳均勻性。DPS II Mesa Asher/Etcher配備了包括ActiveProcess™控制在內的多種技術，用於監測和維護現場蝕刻深度和均勻性的實時過程控制。這項技術使資產能夠保持配方精度，晶片與晶片的均勻度比超過1%。該車型還搭載了OptiFlo Plus™，采用高壓、低壓、遙控、直接氣體註入的組合方式向兩個腔室供應工藝氣體。氣體輸送設備耐火、低噪聲，減少了排放，因此提高了工作環境的安全性。總體而言,AMAT Centura DPS II Mesa Asher/Etcher為半導體蝕刻和灰化應用提供了可靠、準確且高通量的解決方案。該系統采用光學控制工藝參數、多用途基板處理和現場深度映射，非常適合先進的設備加工和制造。
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