二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II Mesa #293608133 待售
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ID: 293608133
晶圓大小: 12"
Etcher, 12"
EFEM: KAWASAKI ATM Robot
(4) Process chambers:
(3) DPS II Chambers
Axiom chamber
Buffer chamber (VHP + Robot)
Process: Poly
AC Rack.
AMAT/APPLICED MATERIALS Centura DPS II Mesa是一款功能強大的蝕刻器/asher，用於半導體應用。具有超高程定向蝕刻和灰度處理能力,具有較高的吞吐量和過程控制能力.AMAT Centura DPS II Mesa利用高清等離子體源、先進的過程控制和獨特的集成硬件平臺,在最具挑戰性的應用中提供卓越的灰度和蝕刻性能。APPLIED MATERIALS Centura DPS II Mesa是一種允許半導體精密處理的工具。它有三種不同的來源類型-正面（正偏置）、負面（負偏置）和中性（非偏置）-用於不同的蝕刻和灰化場景。它可以容納直徑最大為8英寸的晶片，並且可以同時處理多個晶片。Centura DPS II Mesa具有先進的蝕刻/灰燼工藝控制功能,允許用戶在多種應用中實現精確的結果,如淺層溝槽隔離（STI）、光致抗蝕劑灰化和金屬蝕刻。該工具還支持先進的操作參數，包括氣體混合物、射頻功率和腔室壓力，可以實時編程和監控。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II Mesa被設計為高度可靠、高效且易於使用。它具有一個可減輕維護負擔的自我監控系統,以及一個內置的小孔,可方便對過程至關重要的晶圓進行跟蹤,從而實現準確高效的處理。它還有一個用戶友好的界面，可以方便的參數設置和管理。AMAT Centura DPS II Mesa是一款為半導體應用提供卓越性能和可靠性的蝕刻器/asher。它具有先進的過程控制技術和獨特的硬件配置,可提供精確的蝕刻/灰分結果。使用方便，維護負擔低。對於需要對其半導體應用進行高精度、高通量處理的用戶來說,它是一個理想的解決方案。
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