二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II Metal #293624189 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II Metal
ID: 293624189
晶圓大小: 12"
優質的: 2005
Metal etcher, 12" EFEM Process: Metal TM Module (3) G2 Metals AC Rack Side storage (2) SMC Chillers (3) Cathode chillers Utility box Tote 2005 vintage.
AMAT/APPLICED MATERIALS Centura DPS II Metal是一種用於制造半導體器件制造中集成電路的濕蝕刻和asher設備。與傳統的濕蝕刻工藝相比,AMAT Centura DPS II Metal提供了顯著提高的性能、效率和產量。該系統由兩個主要組成部分組成。第一個組分是包含聚合物源、蘇金射流和真空源的腔室。該腔室的設計實現了非常均勻的加工,消除了表面缺陷,實現了嚴格的工藝控制。聚合物源中的磁體可以配置用於低能和高能操作,從而實現更精確的過程控制。此外,Sujin射流創建了一個統一的蝕刻圖樣,允許更多的控制蝕刻輪廓比傳統的濕蝕刻工藝。設備的第二個組件是控制器。它由帶有真空機的可編程邏輯控制器(PLC)、腔室壓力傳感器和幹櫃組成。PLC為腔室和真空工具提供在蝕刻和灰化操作過程中設置點和控制命令,以增強過程控制。室內的壓力傳感器通過監測大氣壓來幫助提供準確的過程控制,以確保均勻的蝕刻結果。幹櫃中含有對氧氣敏感的部件,也有助於溫度控制,確保資產保持在穩定的溫度範圍內。此外,該模型還有一個自動加載設備,通過每次將晶片加載到同一位置來確保可重復的結果。總體而言,APPLIED MATERIALS Centura DPS II Metal具有多種功能,使其在性能、效率和產量方面成為半導體器件制造的絕佳選擇。由於其精確的過程控制功能,它可以快速、最小程度地產生高質量的結果。自動加載系統還有助於最大限度地減少晶片之間的任何不一致。其用戶友好的界面使調整過程設置更容易滿足不同的蝕刻和asher需求。所有這些優勢使Centura DPS II Metal成為半導體行業清潔和蝕刻需求的可靠選擇。
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