二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II Metal #9274959 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS Centura DPS II Metal是一種幹式等離子體蝕刻器和asher設備，專門設計用於加工基於半導體的材料以創建各種器件結構。該系統能夠以最高的精度和精度產生精確的蝕刻和灰化結果。AMAT Centura DPS II Metal可以完成金屬和介電層的蝕刻和灰化過程,以及各種不同的設備結構,如接觸孔、柵極堆棧和陣列擴散區域。它使用一種稱為等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）的高級蝕刻工藝來蝕刻和加工材料，然後再進行沈積工藝。這種先進的蝕刻工藝能夠為廣泛的應用要求提供選擇性和較高的蝕刻速率。APPLIED MATERIALS Centura DPS II Metal通過多種精密的設計功能實現了精確的性能。這些特點包括其先進的等離子體加工室，該室設計用於在廣泛的基材尺寸和結構上提供均勻的蝕刻。10kW射頻匹配網絡是設備的獨特功能,因為它允許操作員將蝕刻過程調整到各種不同的基板和工藝條件。機器的其他先進功能包括其先進的光學還原能力，這有助於提供對整個蝕刻過程的高級監視，以及其獲得專利的反應性離子蝕刻（RIE）技術，該技術能夠在大面積上實現均勻蝕刻。Centura DPS II還包括一系列底物處理工具,以進一步增強其能力。這些工具包括一個在蝕刻和灰化過程中有效清除汙染物的自清潔基板室，以及一個內置的離子轟擊能力，可用於加速該過程的蝕刻速率。還提供了一個可選的溫度控制單元,使操作員能夠在較大的處理溫度範圍內處理各種材料。Centura DPS II Metal是一款高度可靠的蝕刻和灰化工具,具有卓越的性能。該資產還具有直觀的圖形用戶界面，使操作員對蝕刻過程有了清晰的了解。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II Metal憑借其先進的加工特性,在各種材料的蝕刻和粉刷方面可提供最高精度和精確度,使其成為加工和開發高性能半導體器件的理想模型。