二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II Poly #293820235 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS Centura DPS II Poly是一種蝕刻器和asher，用於各種半導體制造工藝。它是將濕化學蝕刻技術與幹電阻蝕刻技術相結合，提高工藝效率和產量的最先進的工具。AMAT Centura DPS II Poly 蝕刻器/asher可用於RIE（反應性離子蝕刻）和DRIE（深度反應性離子蝕刻）工藝步驟。它能夠處理尺寸可達8英寸的晶片，並使用多種基材材料，包括矽、砷化​​氙、氮化移銨以及其他III-V和II-VI材料。PLICED MATERIALS Centura DPS II Poly 蝕刻器/asher配備了先進的功能,包括最佳等離子體源、靜電卡盤、具有兩個溫度區的晶圓溫度控制、無侵入式負載鎖、兩個魔杖再循環罐和一個遠程形狀發生器。最佳等離子體源使用戶能夠監測和調整等離子體參數，從而提高工藝效率和產量。靜電卡盤提供精確可靠的晶圓平整度,確保均勻的蝕刻效果.晶圓溫度控制功能利用兩個溫度區來保證蝕刻室內的溫度均勻性，從而促進了蝕刻均勻性和重復性的提高。無創載荷鎖有助於減少蝕刻去除室內部的汙染，並最大限度地減少顆粒產生和工藝步驟之間的交叉汙染。兩棒再循環罐使用戶能夠將工藝浴保持在優化的溫度下，從而獲得更好的蝕刻效果。最後,遠程形狀生成器使用戶能夠快速生成所需的陣列幾何,從而增加了對蝕刻過程的控制級別。綜上所述,Centura DPS II Poly 蝕刻器/Asher是一種高性能工具,它提供高級功能,使用戶能夠蝕刻各種晶圓尺寸和材料,從而提高工藝效率和產量。其最優等離子體源、靜電卡盤、帶兩個溫區的晶片溫度控制、無創載荷鎖、雙棒再循環罐和遠程形狀發生器，為用戶提供了放心地進行精確蝕刻和灰化工藝步驟的工具。