二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II Poly #9293614 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II Poly
ID: 9293614
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
Poly etcher, 12" 2006 vintage.
AMAT/APPLICED MATERIALS Centura DPS II Poly是一種用於制造用於微晶體管和其他集成電路的半導體元件的蝕刻器/粉碎器。這類設備使用添加或移除材料的過程來形成所需的結果。它是幹蝕刻設備的一種,意思是用真空或等離子體來去除材料而不是液體蝕刻劑。蝕刻劑可以是有機金屬化合物或氣體。它主要用於矽,特別是磷矽酸鹽和其他介電材料的加工。AMAT Centura DPS II Poly具有緊湊靈活的設計,具有多種功能,非常適合高精度處理。它配備了一個大的、4軸卡盤和強大的蝕刻室,由於其先進的工藝控制系統,能夠實現高吞吐率。這項技術旨在提高工藝的可重復性和減少浪費。廣泛監測和控制蝕刻工藝的結合確保了最高質量的結果。APPLICED MATERIALS Centura DPS II Poly還具有晶片入室加載機制、脈寬調制、精確一致地輸送蝕刻劑以及緊密的亞微米蝕刻精度。此外,Centura DPS II Poly還有一個多區域電容補償單元,旨在平衡基板表面並確保均勻蝕刻。它也有一個自動掃描光學機器,以最佳的成像和計量性能。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II Poly還提供了封閉的環境,有助於保持受控蝕刻化學,降低汙染和除氣的風險。它還有一個自動安全聯鎖工具,為人員和工具提供安全措施。此資產還能夠自動創建配方和存儲,從而減少了在蝕刻步驟之間設置所花費的時間。AMAT Centura DPS II Poly是廣泛蝕刻應用的理想工具,從淺層溝槽隔離結構到先進的金屬化層。由於其先進的蝕刻技術和過程控制,它非常適合要求高精度和可重復性的應用。這種高性能的蝕刻器/asher適用於先進的納米電子加工,使其成為制造當代電子元件過程中的關鍵部分。
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