二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS Metal #293767392 待售

AMAT AMAT/APPLICED MATERIALS Centura DPS Metal是一款先進的蝕刻器/asher設備，為MEMS和半導體器件等精密應用提供最高級別的工藝控制和吞吐量。該系統依靠多頻ICP源和先進的雙模等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）腔室來優化蝕刻工藝。AMAT Centura DPS Metal通過提供始終如一的高產量、高可靠性和高吞吐量,在各種變量下都能獲得優異的產量。APPLIED MATERIALS Centura DPS Metal配備了一系列功能,使用戶能夠獲得最佳的工藝結果。這些特性包括自動壓力和溫度控制、有效的等離子體源和多流輸送單元。自動壓力和溫度控制可實現精確的過程控制,可用於調整特定應用程序的過程參數。此外，有效等離子體源增加蝕刻均勻性，提高蝕刻選擇性。多流輸送機確保合適的氣體和化學品以適當的濃度到達腔室。該工具還可以進行廣泛的蝕刻過程，如選擇性晶片蝕刻、介電蝕刻、後CMP清洗和先進的光刻。每個工藝都是為了利用資產先進的等離子體蝕刻工藝而設計的。而且，該型號能夠蝕刻鋁、碳、矽等各類材料。這種廣泛的加工能力使得設備適合各種應用，包括微腔、MEMS和半導體器件。Centura DPS Metal還提供出色的工藝一致性。這種均勻性確保所有晶片都以一致的方式蝕刻，從而在整個批次中實現一致的產量。此外,系統還包括高級流程監控功能,如實時目視監控和流程氣流控制。這允許用戶詳細查看和監視流程,並提供對流程的控制。總體而言,AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS Metal提供了卓越的工藝控制級別,允許用戶在任何情況下都能獲得高精度結果。通過提供先進的等離子體蝕刻、工藝均勻性和控制，該單元實現了一致和可靠的結果，使其成為高級和精密應用的理想蝕刻解決方案。