二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS Metal #9276067 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS Centura DPS Metal etcher/asher是一種非常先進的設備,用於金屬的詳細、可靠和精確的微加工。該系統將蝕刻和粉刷金屬的能力與產生高精度、高精度和高生產率所需的功率結合在一起。此單元能夠蝕刻和粉刷尺寸從2 um到20 um的金屬特征。AMAT Centura DPS金屬機采用環保、單面加工、串聯等離子體源進行金屬表面的幹蝕刻和RIE灰化。在此工具中,低頻電源用於維持等離子體環境以進行蝕刻或灰化過程。此過程可用於使用正向或負向光敏材料創建尺寸從2 um到20 um不等的特征。金屬被加熱到氧化溫度，這時氧氣被引入基材，生成金屬氧化物。金屬氧化物隨後通過蝕刻和灰化工藝燒蝕，這些工藝是針對每種特定產品量身定制的。監測工藝參數，如腔室壓力、氣體化學、射頻功率和等離子體生成，以確保一致性。該工藝可用於多種金屬膜，如銅、鎳、金、鋁等。資產包括各種附加功能,以確保過程的穩定性和可靠性。這些功能包括先進的汙染控制技術、清潔就地系統和集成自動化模型。該設備還可以與額外的外圍系統集成在一起，如工後清洗系統和激光對準站，以達到最佳性能。該設備旨在滿足客戶對可重復性和過程控制的需求。APPLIED MATERIALS Centura DPS Metal etcher/asher是一種理想的機器,適用於光刻、薄膜、微制造、3D打印、MEMS等應用。該工具具有高精度、高效率、可重復性和可靠的工藝,可確保金屬零件滿足這些應用的高要求。AMAT已確保Centura DPS Metal資產滿足客戶需求,並為生產高性能金屬設備和零件提供便利。