二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS Metal #9277563 待售
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ID: 9277563
晶圓大小: 8"
Metal etcher, 8"
(2) DPS R0 Metal chambers
(2) ASP Chambers
AC Controller rack
RF Rack
(2) AMAT / APPLIED MATERIALS Chillers
NESLAB 150 Chiller
(2) DTCU
Load locks: Wide body LL
Frame: Ph1
HP Robots
Orientor chambers
EDWARD IQDP Pumps
Chuck type: PI ESC
Signal tower
Hard Disk Drive (HDD)
Gas configuration:
DPS: BCl3, Cl2, N2, CF4
ASP: H2O, CF4, N2, O2.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS Metal是一種蝕刻器/asher,一種為半導體和微電子制造行業中的材料加工而設計的最先進的機器。它體積小,性能優越,成為芯片制造商的熱門選擇。AMAT Centura DPS Metal能夠對各種材料進行精確的圖樣、清潔、幹燥和蝕刻。APPLIED MATERIALS Centura DPS Metal專為高精度應用而設計。它利用多區域設備,提供精確的流量分布和溫度控制,允許在各種基板上均勻蝕刻和灰化。該系統采用先進的運動控制,保證了層層形成的一致性和準確性。該單元還配備了一個電容耦合射頻(CCRF)源,用於改進過程控制,提高吞吐量,提高精度。Centura DPS Metal還具有先進的清潔和幹燥功能。該機設計為用多種清潔溶液沖走固體殘留物,如顆粒、金屬等。它還提供先進的幹燥能力,允許迅速和均勻地清除液體殘留物。這樣可以確保最佳的基板性能和產品質量。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS Metal配備了自動化晶圓處理程序,支持最多四個晶圓的裝卸。此工具可提供與頂部和底部負載夾具的連接,從而實現更好的工作流程。該資產還旨在通過最大限度地減少霧氣和蒸氣的產生來減少汙染。此外,該模型的設計目的是通過使用封裝組件和耐腐蝕材料來降低加工過程中的汙染風險。AMAT Centura DPS Metal的設計目的是以低成本提高工藝的準確性和可重復性。其高性能和優越的特點使其成為半導體和微電子制造業可靠、經濟實惠的選擇。
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