二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS2 G5 #9286831 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS2 G5是一種先進的蝕刻/灰分設備,用於先進的半導體制造。它被設計用來蝕刻或灰介電和導電結構在矽片的尺寸達到300毫米。該系統具有強大的晶片支撐單元，利用靜電夾緊機構確保晶片在整個過程中保持安全和精確的定位。這樣可以防止將任何顆粒或汙染物引入蝕刻或粉刷表面。AMAT Centura DPS2 G5還具有一組強大的加工室，包括主室、隔離室、舞臺通道和推進室。主室是發生蝕刻或灰分的地方，具有強大的電子回旋共振（ECR）等離子體源，高效、可靠，壽命長。隔離室可進行選擇性處理，並配有氣體噴射機，確保材料在介電層之間的均勻沈積。舞臺通道提供從負載容量站到主隔離室的安全和直接連接。該工具還具有許多高級過程控制功能,包括過程時間監控、高達1000 °C的溫度控制、多配方功能以及包括功率和氣流在內的等離子體控制。此外,APPLIED MATERIALS Centura DPS2 G5能夠使用各種工藝化學方法（包括氟化學和金屬化學）進行蝕刻或灰化,從而提高工藝靈活性。Centura DPS2 G5是一種強大而精確的蝕刻/灰分資產,非常適合任何先進的半導體制造設備。其先進的工藝控制能力、強大的晶片支持模型以及卓越的蝕刻/灰燼能力為設備制造提供了可靠有效的工具。