二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS2 #9384036 待售

AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS2是一種高級蝕刻器/asher,用於高生產率的高性能晶圓加工。它被設計為生產環境的「主力軍」,允許快速的吞吐量、準確的過程控制和出色的一致性,以及為滿足特定客戶需求而配置的靈活性。該DPS2采用具有超短脈沖特性的高通量脈沖電暈放電（PCD） 蝕刻/Asher設備,具有更大的工藝靈活性。它還包括一個高速輪廓控制器，提供了廣泛的蝕刻輪廓，以及一個標準的負載鎖定方案能力，使系統非常適合蝕刻和灰化各種晶圓材料。該單元在兩種運行模式中的一種運行,第一種模式是固定蝕刻時間模式,在該模式下,無論實際負載大小如何,都將在該時間內處理相同的負載。第二種模式是受控配置文件模式，根據從正在處理的晶圓獲取的蝕刻配置文件調整時間。針對不同的材料和配方設置進行了調整。該DPS2利用先進的旋轉屏蔽在蝕刻過程中達到均勻性，降低了晶圓邊緣和骰子角蝕刻速率的可變性。這樣就減少了產量損失，提高了晶圓質量。該機具有較高的吞吐量和靈活性，是滿足大容量、高精度蝕刻和灰化需求的理想選擇。它也非常適合各種研究和開發項目，在這些項目中，精密晶圓加工是必不可少的。DPS2的高溫真空也使得它非常適合涉及晶片高溫處理的應用。該DPS2提供了廣泛的集成診斷和監控功能,以確保可靠的操作並優化產量。高級圖形用戶界面（GUI）也使得該工具極易控制和監控。還為客戶提供技術支持和工藝工程。AMAT Centura DPS2是一種可靠且性能高的晶圓加工主力車,非常適合生產環境。