二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS2 #9384037 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS2是一種用於半導體和平板顯示器應用的高精度等離子體蝕刻器/asher。該蝕刻器利用高峰值功率等離子體源和獲得專利的電介質板，實現了極精確的蝕刻和灰化效果。結果具有很高的可重復性，從晶圓到晶圓的蝕刻速率最大變化為5%。AMAT Centura DPS2非常適合各種IC和FPD應用程序,例如創建通道、觸點和框形狀。該蝕刻器的精確和可重復的結果使得它非常適合精細的結構。DPS2的最大晶圓尺寸為200毫米，腔室尺寸最多可容納十二個基板。該DPS2提供多種功能,以確保精確蝕刻和灰化。蝕刻器同時配備了電容耦合和高頻電感耦合等離子體源，允許廣泛的等離子體密度和蝕刻速率。專利的介電板被用來提供對等離子體的屏蔽，從蝕刻器的壁，確保一個均勻蝕刻跨越晶片。此外，板的獨特設計防止介電濺射，否則會造成晶圓的汙染。DPS2還提供整個蝕刻過程的溫度控制和均勻性。蝕刻器的溫度可設置至600 °C，允許精確退火和氧化操作。該系統還具有緊湊的循環冷卻系統，使整個蝕刻器的溫度保持均勻，並在目標設置範圍內。該DPS2通過嵌入式自動化功能引入了其他優勢。除了設置和監控蝕刻過程外，包含的軟件還提供用戶定義、基於參數的配方開發和實時流程監控。該軟件可輕松添加工藝步驟和定制配方,從而實現高效、精確的蝕刻。總體而言,APPLIED MATERIALS Centura DPS2是為高級半導體和FPD應用而設計的高精度蝕刻器和asher。其獨特的特性組合，包括介電板、溫度控制、均勻性和自動化功能兩個等離子體源，使其成為廣泛設備的理想蝕刻解決方案。