二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DT Hart #293624197 待售
網址複製成功!
ID: 293624197
晶圓大小: 12"
優質的: 2002
Oxide etcher, 12"
EFEM
TM Module
(3) DT Hart
AC Rack
Chiller
2002 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DT Hart是一個高級蝕刻器/asher。這個先進的工具具有強大的能力,可以在可靠、可重復和一致的過程中蝕刻和粉刷晶片。它支持廣泛的蝕刻化學和應用,具有出色的溫度控制、工藝精度和較低的運營成本。AMAT Centura DT Hart具有工業級的6英寸石英蝕刻室,帶有過氧化氫和氙氣混合物,提供出色的蝕刻均勻性和可靠的操作。最重要的是,使用數字可編程邏輯控制器來精確控制過程參數,包括腔室溫度和壓力。此外,該工具是圍繞高效的三區加熱設備設計的,它減少了加熱時間和與溫度循環相關的成本。該系統還通過對晶圓的蝕刻和蝕刻進行精確的溫度控制來簡化灰化/蝕刻過程。APPLIED MATERIALS Centura DT Hart是一款高效、經濟高效的工具,適用於商業和研發應用。它有一個功能強大的自動化過程控制單元,能夠提供低缺陷級別的高質量晶片。該機還確保可靠的過程控制,具有重復和一致的蝕刻結果。此外,該工具還配備了一套綜合的分析組件,如多模質譜、固相微抽取、自動粒子通量控制等,可以對蝕刻化學品、腔室條件、晶片質量進行精確精確的測量。總體而言,Centura DT Hart是一種通用工具,可為各種應用程序提供高效可靠的灰化和蝕刻。它具有先進的溫度控制和工藝精度,非常適合研發和商業生產。
還沒有評論