二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Enabler E5 #293608974 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler E5 蝕刻器/asher是一種單站設備,旨在提供先進的蝕刻和灰化工藝,以滿足大批量生產需求。基於AMAT專有蝕刻和灰化技術,其單室可提供快速周轉和提高吞吐量,從而提高產量。AMAT Centura Enabler E5是一種鎖定負載的系統,可在受控的低壓環境中執行各種蝕刻和灰化過程。它配備了200毫米高級工藝模塊(APM),並具有適合半導體和光電器件制造的優化工藝配方庫。它還支持具有高精度溫度、壓力和氣流控制的高生產率多步驟工藝。該裝置的腔室利用APPLIED MATERIALS專利的功率處理技術(PPT)對矽酸鹽、多晶矽、有機物、氮化物、多金屬和其他難以去除的材料進行精確蝕刻和粉刷。它由Centura控制器提供支持,它為用戶提供了高度自動化、直觀且經濟高效的操作平臺。平臺進行調整,並自動優化蝕刻和灰化過程,以確保最高的產品質量和可靠性。APPLIED MATERIALS Centura Enabler E5還具有業界領先的精密流程端點控制邏輯,可自動調整流程參數,從而無需手動調整。這確保了化學反應的精確定時,並實現了最佳蝕刻產物剖面。該機還具有安全高效的環境和集成的粒子掃描除塵技術,有助於減少顆粒引起的產品廢料。Centura Enabler E5為高級蝕刻和沖洗過程提供了有效的工具集和豐富的過程經驗。它的先進技術和自動化過程使用戶能夠獲得更高的生產產量和更低的成本。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enabler E5是一個高度可靠、經濟高效的平臺,可幫助半導體和光電器件制造商滿足其生產需求。
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