二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Enabler E5 #293617885 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS Centura Enabler E5是一款先進的蝕刻器/asher，用於半導體制造和封裝工藝。它能夠對一系列材料進行高通量和高度可靠的蝕刻。它包括許多集成功能,旨在最大限度地提高生產效率和降低成本。AMAT Centura Enabler E5的核心是采用AMAT自己的CMx控制系統的全自動300毫米、基於腔室的蝕刻器/asher。該腔室既可用於濕蝕刻，也可用於等離子體蝕刻過程，使其成為一系列先進的器件結構測量和需要濕法和幹法的器件封裝的理想選擇。它能夠在一個通道內蝕刻矽、砷化氙（GaAs）等深度達250m的材料，也可用於多種其他應用，如切割、塗抹、堆叠多個後端晶片級芯片規模封裝（Si WLCSP）裝置。APPLIED MATERIALS Centura Enabler E5還支持多種蝕刻化學方法，包括氫氟酸（HF）、碳酸氫銨（NH4HCO3）、氫氧化四甲基銨（TMAH）、磷酸（H3PO4）、硫酸（H2）再者，系統也能夠使用兩條晶圓道進行多步蝕刻配方，允許同時進行多個晶圓的平行蝕刻。該腔室還包括集成的安全功能，如當二氧化氯或二氧化氮水平超過預設閾值時自動停止。它能夠在高達150°C的溫度下運行。此外，該腔室的設計旨在最大限度地減少來自背面晶圓顆粒的汙染風險。總體而言,Centura Enabler E5是一款高級蝕刻器/asher,專為各種材料的高通量和可靠蝕刻而設計。它能夠在一次蝕刻中蝕刻到250米的深度，並用於各種蝕刻化學。此外，該系統還具有一些旨在確保安全的功能，包括當氣體含量超過預先設定的閾值時自動停止，並且能夠在高達150°的溫度下運行。