二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura MxP+ Super-E #9293833 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura MxP+Super-E Etcher/Asher是一款先進的精密濕蝕刻設備，設計用於高通量生產光電和半導體器件。該系統利用一系列工藝條件，提供高蝕刻速率，具有良好的表面平滑性和選擇性。AMAT Centura MxP+Super-E的特點包括變速基板旋轉器、高溫處理室和多區溫度控制平臺。自動熱管理可優化蝕刻均勻性,並且多個獨立的工藝罐可實現多步驟蝕刻。該設備提供精確的溫度控制、精確的過程控制、可重復的過程參數以及嚴格的環境合規性。APPLIED MATERIALS Centura MxP+Super-E具有先進的晶圓卡盤設計，與廣泛的基材兼容，包括Si和III-V材料。可將卡盤加熱至950°C進行氧化物蝕刻，並對精確的加熱參數進行嚴密控制，以實現蝕刻均勻性、更高的吞吐量、更低的排斥率和提高的收率。強大的Enerjector™射頻發生器提供精確程度的可控性，並在調整蝕刻參數時實現精確的過程控制。Centura MxP+Super-E提供經濟實惠的濕蝕刻,滿足具有挑戰性的產量、均勻性和選擇性要求。它還可以配置為多模塊配置,以提高吞吐量並處理多個晶圓大小。機器還提供了廣泛的化學和可重現蝕刻型材。它具有自動晶片到晶片均勻性以及可用於實時監控蝕刻過程的過程監視器。這確保了一致的結果,並有助於達到最高質量標準。