二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura XT ISD #293595648 待售

ID: 293595648
Poly etcher HTF / EPI / Poly chamber.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura XT ISD是一款先進的蝕刻器/asher,它利用最新的半導體技術來提供卓越的工藝控制和可重復性。該系統結合了單晶片加載和高精度蝕刻和灰化功能,以支持先進的工藝開發和生產工藝。AMAT Centura XT ISD具有自動化的過程控制平臺,可實現可重復的結果。該系統還具有統一的氣體分配設計,有助於保持均勻的蝕刻速率和統一的加工方向。這樣可以確保在大量晶片上獲得一致的蝕刻結果。APPLIED MATERIALS Centura XT ISD還具有較高的真空能力,每小時可達到150晶圓的吞吐量,非常適合生產過程。Centura XT ISD等離子體傳感器的高分辨率支持用戶實現所需的蝕刻速率。該傳感器還能夠在運行和進程中監控多個站點的蝕刻速率。此外,AMAT/APPLIED MATERIALS Centura XT ISD還具有實時電流饋送功能,可通過提供可調蝕刻速率來實現增強的蝕刻效果。AMAT Centura XT ISD還支持各種晶圓尺寸,並具有各種金屬提升過程,使用戶能夠實現各種蝕刻和金屬沈積過程。這有助於支持各種先進的材料加工應用,從簡單的蝕刻平整和包裝到金屬提升、散裝基板去除(BSR)和底切/稀釋應用。APPLIED MATERIALS Centura XT ISD設計為靈活高效的工具,維護成本低。它的特點使它能夠輕松地處理小型和大批量蝕刻和灰化作業。因此,Centura XT ISD非常適合所有類型的蝕刻和灰化操作,從研發到大批量生產處理。
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