二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Chamber for Centris SYM3 Poly #293659650 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS Chamber for Centris SYM3 Poly是一種蝕刻器/asher,專門設計用於在Si、SiGe、SiC和GaAs等多種基材中處理蝕刻/帶狀、間隙填充和平面化高長寬比的通孔和觸點。它配有兩個獨立的腔室，用於完整的工藝控制，允許在同一晶片上同時進行蝕刻和剝離。腔室可以支持10英寸或12英寸的晶片，使其與集成電路（IC）制造過程中最常用的晶片尺寸兼容。AMAT Chamber for Centris SYM3 Poly配備了自動化的過程控制系統,旨在優化過程產量和周期時間。它提供了高度的流程一致性和可重復性,同時還實現了實時質量控制和反饋。該室的用戶界面是為易於使用和工藝優化而設計的。它提供快速配方設置、實時配方調整和配方監控功能。此外，腔室能夠在過程之前和過程中運行均勻性檢查，以確保高產量和吞吐量。用於Centris SYM3 Poly的APPLIED MATERIALS Chamber配備了多種改進工藝質量的功能,包括用於改進接觸和間隙填充的熱氣加熱器設計,以及用於高度測量的激光幹涉測量系統。該室還提供多種氣流管理和壓力控制選項，以實現先進的蝕刻回填和間隙填充配方。Chamber for Centris SYM3 Poly旨在提供高精度工藝,以支持下一代IC的開發。這個最先進的會議廳提供了最佳的工藝性能、用戶靈活性和提高的產量。結合精確的加工參數和清潔的加工環境，這種蝕刻器/asher能夠為大多數IC制造要求產生一流的結果。