二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS 532 #293821494 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS DPS 532蝕刻機/asher設備是半導體工業中使用的一種工具,用於對用於制造薄膜的介電結構進行蝕刻和粉刷。設計用於制造三級電介質、金屬閘門、雙大馬士革銅金屬化和高長寬比雙大馬士革工藝等超薄膜。該系統利用揮發性有機化合物（VOC）反應性離子蝕刻（RIE）、濕蝕刻和超高真空幹燥（UHV-Dry）蝕刻等多項技術來執行其獨特的工藝。AMAT DPS 532是一個先進的可變通量蝕刻單元，包含先進的等離子體源，可以提供卓越的蝕刻均勻性和蝕刻速率。該機還配備了在線監控工具，允許快速適應和實時控制蝕刻過程。APPLICED MATERIALS DPS 532利用各種蝕刻氣體，包括NF3、CF4、O2、SF6、CHF3、C2F6、H2和Ar，以及其他氣體來達到最佳蝕刻性能。資產還包括一個先進的遠程蝕刻模型，這使得過程控制和快速配方開發和處理。DPS 532采用了高真空和受監控的幹蝕刻技術,使其能夠實現高分辨率特性、改進臨界尺寸（CD）控制、減少微縮以及高纖薄膜長寬比。可將多個模塊集成到模塊中,從而實現各種工藝功能,如間隙填充、缺陷鈍化、關鍵陣列加工和金屬柵極蝕刻。AMAT/APPLIED MATERIALS DPS 532設備設計用於集成到現有的蝕刻和灰化生產線。它結合了通用的可編程邏輯控制器（PLC）和伺服控制,可輕松集成到現有的自動化過程中,並減少將系統實施到生產線時的設置時間。AMAT DPS 532使用無電極安裝來安裝晶片，因此該單元不需要比其他系統需要額外的手動幹預。機器還提供晶片級檢測工具，以防止晶片因晶片加載或處理不當而損壞。APPLICED MATERIALS DPS 532 蝕刻器/asher資產是半導體工業中使用的一種先進工具,用於創建具有精確蝕刻控制的薄膜。該模型利用VOC-RIE、濕蝕刻和UHV幹蝕刻等多種技術來實現其獨特的工藝。它配備了監控設備和可編程邏輯控制器，使其能夠集成到現有的蝕刻和灰化生產線中。高真空和監測幹燥蝕刻，加上晶片級檢測系統，使其能夠實現優越的蝕刻均勻性和速率，並通過改進的CD控制降低了微波和高長寬比。