二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS 532 #9044038 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS DPS 532是一種蝕刻器/asher設備，使用低壓大氣等離子體沈積半導體等材料的化學層或蝕刻表面。該系統的生產級設計和最先進的技術使其成為眾多應用程序中易於使用、可靠的工具。AMAT DPS 532單元依靠功能豐富、可配置的數字控制器進行蝕刻和沈積配方。內部組分利用等離子體誘導化學氣相沈積（PICVD）和低壓電容耦合等離子體（LPCP）的組合，對離子和自由基進行初始化處理。高度可定制的配方和測序參數可以很好地控制沈積和蝕刻。使用各種氣體，包括O2、Argon、H2、SiH2Cl2、CF4和NF3，以提高蝕刻和沈積速率及工藝。應用材料DPS 532能夠在多種材料中產生均勻的蝕刻速率和金屬、聚合物和電介質沈積。其大的加工室（直徑10.2英寸）確保了寬闊區域的均勻性。此外，該機器還配備了先進的工藝監控能力，包括用於測量蝕刻速率的高速高溫計。這些控制和性能測量確保了壓板上的均勻結果和均勻性。此外，DPS 532中的LPCP蝕刻工藝與高密度蝕刻特性高度兼容。該工具還利用一套在線數據采集工具和分析，實時監測蝕刻和沈積率，確保零件的一致性和質量控制。AMAT/APPLIED MATERIALS DPS 532的準確性、可重復性和靈活性使其非常適合生產和開發工程需求。資產由480V三相電源供電，工作溫度範圍為10-40 °C。綜上所述，AMAT DPS 532是一種極可靠的蝕刻器/asher模型，結合了先進的PICVD、LPCP和RF護套電離技術，以獲得精確可靠的性能。它的大型工作室，加上過程控制和監測能力，使其成為快速、一致地蝕刻和沈積材料的寶貴工具。