二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS 532 #9093405 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS 532是為薄膜微電子元件的製造而開發的asher/etcher。這款機型經過專門設計，提供出色的蝕刻特性和速度，非常適合任何微電子應用。AMAT DPS 532是一種獨立的蝕刻器/asher設備,具有許多功能,使其功能極其強大和高效。它配備了三托爾壓力控制器，可以精確調節從大氣到5 mTorr範圍的壓力範圍。安裝在主體上的氣箱提供了持續供應的優質工藝氣體和載氣。每個燃氣箱都配有標準的燃氣管路連接和閥門，減少了設置時間，消除了潛在的誤差。此外,機櫃內安裝的氣流控制器可在蝕刻和灰化過程中對氣體成分進行無縫、準確的控制,從而獨立調整蝕刻和灰化氣體流量。APPLICED MATERIALS DPS 532的可調電感耦合等離子體源提供卓越的蝕刻質量。該源在蝕刻過程中提供了與偏置、晶圓溫度、氣體成分等晶圓匹配參數的最大一致性。該系統還提供了盡可能高的蝕刻速率,從而提高了蝕刻過程的生產率。DPS 532具有先進的安全功能,既安全又方便用戶。該型號有一個屏幕上的安全檢查表，必須在蝕刻過程開始前完成，提醒用戶重要的安全步驟，如準備和蝕刻後清理。該裝置還具有極低的臭氧濃度檢測，使機器能夠安全運行並符合環保局的規定。總體而言,AMAT/APPLICED MATERIALS DPS 532是任何蝕刻應用的理想選擇,它將出色的蝕刻質量、速度、安全性和可靠性結合到一個方便的設備中。它是一種經濟高效、可靠的工具，非常適合任何微電子應用。