二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS AE Poly G3 #9137290 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS AE Poly G3是一種等離子體蝕刻器/asher，設計用於蝕刻和鈍化各種材料的基板。該設備能夠處理「硬」材料和「軟」材料，在每種類型中都能取得優異的效果。該系統由基於電磁的等離子體反應堆組成，其中等離子體是通過對過程施加高頻功率而產生的。等離子體可以調諧到不同的密度，允許有機和無機層的最佳去除。它還使用先進的蝕刻技術來盡量減少對基板的影響。AMAT DPS AE Poly G3的設計提高了吞吐量,同時保持了高質量的結果。它與法拉第旋轉屏蔽協同工作，能夠同時進行蝕刻和等離子體生成。屏蔽層進一步有助於控制蝕刻角和蝕刻速率，從而使基板的加工速度快速、均勻。該單元使用方便，需要極少的維護，使其既適合研究又適合生產。這臺機器有一系列的可選配件，可以增加它的功能，如基板均勻掃描儀，反應性離子蝕刻工具，和等離子體調節器。APPLICED MATERIALS DPS AE Poly G3是一種堅固可靠的蝕刻和鈍化基板工具。它具有內置電源和過程監控功能,可用於確保一致的蝕刻結果。此工具是各種材料蝕刻的絕佳選擇,提供快速、高質量的結果。