二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS G5 #293764820 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS G5是一種高度可靠的asher/etcher,設計用於半導體行業中各種設備的高通量處理。該設備設計用於大規模晶圓級清洗、蝕刻、灰分和沈積過程，能夠高速將各種功能和技術集成到單個平臺中。AMAT DPS G5提供了比以前的系統更高的可靠性和更高的性能。該系統能夠提供高達每小時60個晶圓制造操作的驚人吞吐量。該設備的改進使制造多種晶圓設備（如IMD、MEMS和Touch Panel）的效率更高。APPLICED MATERIALS DPS G5利用先進的化學和最先進的技術來實現最大的蝕刻和灰分性能。該機配備了高端5,000W射頻發生器，針對所需的化學物質進行了優化，從而確保了高達99.9%的成功率。該工具還能夠自動調整射頻功率，以適應被處理底物中使用的化學過程的反應時間。此外,DPS G5利用高級PFA （Pressure Flow Analysis）子系統,能夠在蝕刻和灰燼過程中自動保持所需的溫度、壓力和流量。該資產采用多真空/氣體歧管設計，能夠通過精確控制流速優化過程，從而確保晶圓器件的成功制造過程。AMAT/APPLIED MATERIALS DPS G5還配備了獨特的工藝控制模型，能夠監測、儲存和分析化學和基材特性。這樣可以確保在整個制造過程的所有階段都保持最高級別的過程控制,同時允許用戶訪問詳細的過程報告以改進分析、改進和制造。AMAT DPS G5是半導體行業中可靠高效的晶片級蝕刻和灰分工藝的理想選擇。它提供了更高的吞吐量、增強的工藝控制、最先進的技術和先進的化學技術,以確保制造過程中的最大可靠性和效率。