二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II AE Mesa #9292403 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II AE Mesa是一種為複雜半導體材料的沈積和蝕刻而設計的蝕刻器/asher。最先進的設備采用脈沖放電硫化物(PDS)工藝技術,以及易於操作的精密控制設備。該系統具有在半導體表面上蝕刻最多九個軌道角的任何圖樣的能力,可以精確控制蝕刻深度和各向異性程度。除此工藝外,AMAT DPS II AE Mesa為較大的開口提供可調角度蝕刻,可沈積高長寬比、高通量的高達20微米厚度。該裝置還具有強大的板載洗滌器,可在整個基板表面提供均勻的蝕刻。這意味著所有設備層都可以在沒有汙染的情況下以相同的精度進行蝕刻。此外,APPLIED MATERIALS DPS II AE Mesa還具有可變蝕刻和可調節脈沖時間的non-SC1蝕刻模塊。此模塊允許機器在較高的溫度下處理材料,從而提高蝕刻吞吐量。此外,該工具還提供了高精度的線性驅動機構,可串聯處理多達96個基板。此功能減少了停機時間,最大程度地減少了操作員疲勞,並允許快速、精確地蝕刻具有挑戰性的材料集。此外,該資產為環境保護模型提供了多層過濾設備,以確保安全的工作環境。DPS II AE Mesa是蝕刻半導體器件的絕佳選擇,因為該系統可以以高通量和精確度在所有器件層上提供均勻的蝕刻。其PDS工藝技術、可變角度蝕刻、可調節脈沖時間和高精度線性驅動機構使其非常適合行業最苛刻的工作。該設備可幫助制造商優化生產線的效率,同時通過最小化停機時間和操作員疲勞來降低成本。
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