二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II AE #9379752 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II AE是一種高性能、直流等離子體蝕刻器/asher，設計用於半導體基產品晶圓級制造中的層狀材料的精確去除和清洗。AMAT DPS II AE利用其創新的直流電等離子體技術，以極好的均勻性，將層的超快速蝕刻到納米級。APPLICED MATERIALS DPS II AE擁有功能齊全的用戶界面和一系列用於控制蝕刻過程的強大軟件功能,包括配方跟蹤、自動參數調整、實時過程監控以及對氣流和電極電流的控制。DPS II AE能夠在200 °C的溫度下進行蝕刻,蝕刻速率從200 µm/min到10 nm/min不等。除了先進的蝕刻能力外，AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II AE還配備了一個集成的蝕刻後（ASH）室，用於清洗蝕刻層，能夠在不引入顆粒汙染的情況下快速清除有機殘留物。ASH室的設計目的是在晶片表面的任何殘留物造成重大損壞之前，將其可靠地刮掉。為了確保持續精確的蝕刻，AMAT DPS II AE配備了幾個傳感器和控制系統。其中包括內置氣流控制器、受控差壓室、壓力表、溫度傳感器和射頻等離子體發生器。傳感器和控制器的這種組合可以精確地控制蝕刻過程，並提供一致的結果，變化最小。在安全性方面，APPLIED MATERIALS DPS II AE經CE認證，符合或超過所有適用的蝕刻/asher安全要求。其內部有效地與外部環境密封，而冗余電源和電源管理功能到位，以提供可靠、安全的操作。總而言之，DPS II AE是一款功能強大且用途廣泛的蝕刻器/asher，非常適合用於制造半導體。其直流等離子體技術提供了快速、可重復和精確的蝕刻以及對蝕刻過程的高度控制。它還通過了CE認證,以實現最大的安全性,並配備了安全高效的晶圓級制造所需的所有功能。