二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II AE #9383380 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II AE（Etch/Asher）是半導體工業中廣泛使用的工藝工具。適用於蝕刻、灰化、降解、反應等離子體清洗等應用。它非常適合於從晶圓中蝕刻和粉刷氧化層,以及降解、CMP墊片清洗和接觸孔的清洗。它能夠處理範圍廣泛的晶圓尺寸，從纖細晶圓到直徑6英寸的晶圓。AMAT DPS II AE（蝕刻/Asher）的主要部件包括硬件--電源、等離子體源、熱交換器、氣櫃和工藝室內存在的管子。電源可配置為AC或DC操作。等離子體源是一個射頻發生器，能夠運行到40MHz，並通過脈沖功率輸出功能得到增強。這種脈沖輸出使得射頻源在高等離子體密度過程中成功運行。此外,它還有助於最大限度地減少生產環境中的鼓風機噪音。該換熱器由銅/鎳合金制成，旨在最大程度地提高工藝室內的熱效率。氣櫃裝有閥門和過濾器，為加工室提供可靠的氣體入口。最後，腔內的管子使用射頻匹配的輸入，這有助於向晶片輸送均勻的氣流，也有助於控制等離子體。DPSTM-II AE具有多種功能,使其在蝕刻和灰化過程中可靠、精確。它配備了自動化的過程監控設備，允許操作員根據過程特性設置和優化操作參數。它還有一個腔室冷卻系統，有助於最大限度地提高工藝穩定性，確保腔室內的熱模式均勻。此外，它的多點溫度測量單位有助於精確測量和調節工藝室的溫度。APPLICED MATERIALS DPS II AE（蝕刻/Asher）機還提供了一個安全的蝕刻和灰化過程平臺。其工藝室是為符合大多數國家環境法規的VOC排氣率而設計的。此外，它還配備了先進的安全工具，用於檢測資產中的任何故障，並在緊急情況下將其關閉。總而言之，DPS II AE（蝕刻/Asher）是一種高效可靠的工藝工具，由於能夠在受控環境中提供均勻的蝕刻和灰化工藝，是制造半導體元件的重要工具。其先進的特性和安全系統使其成為任何半導體制造工藝的理想工具。