二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II #9067210 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II是一種先進的數字等離子體源（DPS）蝕刻器/灰化器設備,專為先進和精密的蝕刻、灰化和氧化工藝而設計。該系統包含一個氣體/等離子體盒（GPB）腔室和一個獨立可變動力電極，一個等離子體源最大為600瓦的低熱質量射頻平臺，以及一個具有多種精密過程控制選項的集成控制單元。AMAT DPS II的多用途加工能力使得包括硬質非揮發性材料在內的不同材料能夠進行復雜的蝕刻、灰化和氧化。機器獨特的設計允許過程參數的獨立調整，以達到最精確的結果。這包括能夠同時控制壓力、氣流、氣體成分、氣體純度、射頻功率、射頻頻率、板電壓和板電流,從而在所有工藝條件下提供最高的蝕刻/灰度。此外，該工具還允許精確調整脈沖離子在腔室中的位置，以確保整個表面均勻去除材料。APPLIED MATERIALS DPS II資產為用戶提供了一系列自動化和監控功能,以安全高效的方式實現最佳效果。可選的自動調諧控制器允許基於最佳蝕刻/灰化結果自動優化RF功率和RF頻率。集成的計算機管理站界面允許操作員通過過程監控、參數設置和配方測試等應用，實時監控和操縱模型組件。DPS II還提供了在單個運行中執行復雜的多步驟過程的功能,從而實現了高精度蝕刻和灰化過程。AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II旨在滿足從設備研究到半導體制造等廣泛用戶的需求,並適應未來工藝條件的變化。AMAT DPS II實現了高度可靠和可重復的蝕刻、灰化和氧化過程,使其成為可靠性和準確性最高的薄膜沈積或蝕刻和灰化應用的理想選擇。