二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II #9078107 待售

ID: 9078107
POLY chamber's, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II是一種先進的蝕刻/灰燼設備,設計用於執行高度精確和復雜的蝕刻和灰燼操作。該系統能夠處理各種蝕刻材料,包括薄膜、晶圓和其他基材。它可用於多種應用,如半導體器件上的蝕刻圖樣層、微流體研究和MEMS器件。該單元配有一個多過程腔室、幾個源模塊和幾個原位傳感器進程。多工藝室允許定制工藝,並允許用戶解決各種蝕刻和金屬沈積需求。來源模組包括磷化銨濕蝕刻卡盤、電子束源、感應耦合等離子體源。所有這些來源都能夠產生高度均勻的薄膜和光致抗蝕劑。原位傳感器過程提供過程參數反饋,以確保高質量的過程結果。該機的功能還允許進行全面的蝕刻操作。它具有精確、可重復的磁場輔助蝕刻工藝,以及先進的薄膜厚度分析功能。此外,該工具直觀的用戶界面允許用戶實時監控和控制操作參數和流程。此外,AMAT DPS II蝕刻/灰分資產還具有多種安全功能,如防弧和可編程的危險材料鎖定門。所有這些元素使它成為一個可靠和安全的蝕刻/灰燼模型,設計用於廣泛的應用。總體而言,APPLIED MATERIALS DPS II是一種功能強大且可靠的蝕刻/灰燼設備,適用於各種應用。它配備了幾種工具和特點,使精密蝕刻和灰化操作容易可靠。它有一個多工藝室和幾個源模塊,允許用戶解決他們的蝕刻和金屬沈積需求。此外,它還具有一套全面的安全特性,使其適合任何潔凈間環境。
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