二手 AMAT / APPLIED MATERIALS DPS II #9103057 待售
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ID: 9103057
晶圓大小: 12"
優質的: 2008
Metal etcher, 12"
(3) Chambers
(2) Axiom chambers
2008 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS DPS II Asher是一款先進的等離子體蝕刻和清潔設備，設計用於研發和生產應用。它結合了高性能幹蝕能力、出色的顆粒去除、低溫清洗、快速坡降時間。該系統為蝕刻工藝優化提供了卓越的精度和可重復性。AMAT DPS II Asher的特點是帶有加熱元件的真空室，用於溫暖、低壓清洗或蝕刻和蝕刻過程。它還包括一個旋轉表，允許產品被放置在轉移階段進行蝕刻。高級流程控制器監視流程參數,而LCD用戶界面可幫助操作員通過該過程進行操作。等離子體蝕刻過程由高頻發電機驅動，該發電機使用射頻等離子體源來創建和控制等離子體場。然後使用集成發射單元控制來自蝕刻室的等離子體，並提供和維持腔室條件。該腔室還具有高分辨率數字萬用表和數字推進器，以確保精確的蝕刻過程控制。該工藝控制器配備了實時反饋數據，以確保精確、精確的蝕刻。它可以鏈接到外部PC以遠程控制進程。該機還具有鎖定蝕刻工藝溫度的閉環溫度控制工具和高性能溫度控制資產，以確保灰燼的溫度始終保持不變。另外，蝕刻過程可以用各種診斷方法進行監測，如光發射光譜、質譜和其他工藝參數。該模型能夠清潔蝕刻表面的顆粒，減少顆粒汙染。它還可以方便地進入真空室進行快速維護和維修。APPLICED MATERIALS DPS II Asher的主要優點包括蝕刻、清潔和其他應用的高重復性、價值和性能。它提供了卓越的精度和可重復性，最小化的顆粒汙染，快速的斜坡下降時間，以及出色的清潔蝕刻表面。設備也使用方便、效率高、性價比高。
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